过高辩别场散发扫锚机网络高倍高倍显微镜 SEM5000X
SEM5000X一款过高辩别率场散发扫锚机网络高倍高倍显微镜,其辩别率起到了攻克性的0.6 nm@15 kV和1.0 nm@1 kV。高辩别物镜装修设置、高压力隧道施工技(SuperTun nel)甚至镜筒艺加剧,做到了低功耗值辩别率的进步骤优化。最顶配装修设置的样品管理仓,初始化接口类型新增至16个,飞速换样仓明显大力支持8寸晶圆(明显网套直径208 mm),更大初始化
应用软件比率。
- 更新日期:2024-07-22
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